新型的陶瓷薄膜制备工艺—Sol—Gel法包定华 邝安祥
用PCVD法制备(TiA1)N膜的研究赵程 彭红瑞 等
夹心式a—Si:H光阴极陈元星 海宇涵 等
ZrO2薄膜横断截面的透射电镜观察沈辉 石旺舟 等
膜层厚度分布与蒸发源相对位置的设计探讨郑文汀 戴德星
热丝CVD法分解丙酮合成金刚石薄膜项金钟 郑志豪
等离子体聚合有机硅(HMDSN)薄膜及其特性研究倪星元 华荫曾 等
不连续锡膜的异常光学性质研究吴广明 钱振型
套控溅射类金刚石碳膜在可见光及近红外光区域的光学性质吕反修 杨金旗 等
液晶Langmuir—Blodget膜的结构研究方际宇 孙政民 等
燃烧火焰法合成金刚石薄膜王万录 高锦英
离子束增强沉积氮化硅膜的分析陈元儒 徐春同 等
循环加载卸载对纳米压入法测量结果的影响侯根良 徐可为
C2H2/H2/SiH4等离子体聚合及其沉积物的结构与性能的研究邹湘坪 益小苏
一种比金刚石还硬的新型材料—β—C3N4吴招促 俞跃辉
非晶含锡有机膜的热处理行为周坤磷 刘维民
ITO膜生产技术的新进展姜燮昌
硬质膜研究与发展的进展闻立时
硅基薄膜发光材料鲍希茂 刘湘娜
21世纪新材料的明星—巴基球魏秉庆 梁吉
离子束薄膜合成及材料表面优化杨根庆 柳襄怀
微电子机械系统(MEMS)研究现状与展望张寿柏 蔡炳初
离子镀技术的发展和现状遇衍澄
SiO2—Al2O3复合氧化物薄膜的溶胶—凝胶法制备研究李澄 黄明珠
亚微米硅外延生长特性研究王向武 赵仲镛
短波段光学薄膜李懋廉 卢春光
a—Si/Mo多层膜的制备及其结构研究刘焕林 余萍
SrS:Ce蓝色薄膜电致发光陈建荣 蔡昆
一类新型的薄膜多晶硅材料与器件的制备方法及其研究现状于振瑞 耿新华